全息微型平版印刷术

【类型】期刊

【作者】赵天正 

【关键词】 全息掩模 平板显示器 动态聚焦 准直系统 微电子工业 测量精度 微型 平版印刷术 全息图 平版印刷技术

【刊名】应用光学

【出版日期】1995-01-01

【ISSN】1002-2082

【期号】第3期

【摘要】全息微型平版印刷术全息掩模准直器是对目前工业平版印刷技术的最新补充。高分辨率（＜０．即。）和大曝光场的结合给微电子工业注入了新的活力，特别是提高了平板显示器的加工能力。ＥＲＩＲ备是全自动的，它包括一个扫描激光照明系统、能使图形印在不平整基片上的动态聚...