纳米器件制备的新方法-微接触印刷术

【类型】期刊

【作者】潘力佳 何平笙 

【关键词】 自组装膜 聚二甲基硅氧烷 微接触印刷术 微模塑

【刊名】化学通报

【出版日期】2000-01-01

【ISSN】0441-3776

【页码】12-17

【期号】第12期

【作者单位】中国科学技术大学高分子科学与工程系

【卷号】第63卷

【摘要】微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法 ,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米 -微米量级的精细结构 ,印制导电高分子微电路 ,以及制作三维结构微制品。该方法精确重复 ,工艺简单 ,对实验室条件要求也不高 ,在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。