符合亚微型平版印刷术要求的紫外准分子激光器

【类型】期刊

【作者】邹福清 

【关键词】 办事处 马萨诸塞州 公司 输出功率 加利福尼亚州 专题讨论会 紫外 平版印刷术 微型 准分子激光器

【刊名】激光技术

【出版日期】1988-01-01

【ISSN】1001-3806

【页码】59-63

【期号】第6期

【摘要】鉴于1988年3月在加利福尼亚州圣克拉拉举办的SPIE微型平版印刷术专题讨论会,Lambda Physik公司将推出一种OEM平版印刷术激光器.据马萨诸塞州阿克顿办事处的Lindsay Austin说,KrF激光器在248.4nm波长上发射功率2W.输出功率和频率是稳定