21世纪海上丝绸之路（海南）专题库
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子华
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条
Gigaphoton为ASML平板印刷术提供新型准分子激光器
作者：
子华
来源：
广东印刷
年份：
2005
文献类型 ：
期刊
关键词：
Gigaphoton公司
GT40A
准分子激光器
平板印刷
ASML
描述：
半导体行业的光源制造商Gigaphoton公司，宣布了一种新的氟化氩(ArF)准分子激光器——GT40A(发射波长193nm，重复率为4kHz)。这个新模型已经利用平板印刷工具在荷兰Veldhoven的ASML被综合测试和认证。
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