21世纪海上丝绸之路（海南）专题库
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李汉中
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条
用准分子激光器改进半导体平版印刷术
作者：
李汉中
章介伦
来源：
激光与光电子学进展
年份：
1983
文献类型 ：
期刊
描述：
国际商用机器公司圣何塞研究所的研究者在报导的实验中指出，准分子激光器发射的紫外光可能是把光学平版印刷术扩展到亚微米区域的关键。研究者利用接触掩蔽技术，在几十分之一亳微秒的曝光时间内,在抗烛剂上制成0.5微米的线。
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