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全息微型平版印刷术: 作者： 赵天正 来源：应用光学 年份：1995 文献类型：期刊 关键词： 全息掩模平板显示器动态聚焦准直系统微电子工业测量精度微型 平版印刷术 全息图平版印刷技术; 描述：全息微型平版印刷术全息掩模准直器是对目前工业平版印刷技术的最新补充。高分辨率（＜０．即。）和大曝光场的结合给微电子工业注入了新的活力，特别是提高了平板显示器的加工能力。ＥＲＩＲ备是全自动的，它包括一个扫描激光照明系统、能使图形印在不平整基片上的动态聚...

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