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全息微型平版印刷术: 作者： 赵天正 来源：应用光学 年份：1995 文献类型：期刊 关键词： 全息掩模平板显示器动态聚焦准直系统微电子工业测量精度微型平版印刷术全息图平版印刷技术; 描述：全息微型平版印刷术全息掩模准直器是对目前工业平版印刷技术的最新补充。高分辨率（＜０．即。）和大曝光场的结合给微电子工业注入了新的活力，特别是提高了平板显示器的加工能力。ＥＲＩＲ备是全自动的，它包括一个扫描激光照明系统、能使图形印在不平整基片上的动态聚...

符合亚微型平版印刷术要求的紫外准分子激光器: 作者： 邹福清 来源：激光技术 年份：1988 文献类型：期刊 关键词： 办事处马萨诸塞州公司输出功率加利福尼亚州专题讨论会紫外平版印刷术微型准分子激光器; 描述：鉴于1988年3月在加利福尼亚州圣克拉拉举办的SPIE微型平版印刷术专题讨论会,Lambda Physik公司将推出一种OEM平版印刷术激光器.据马萨诸塞州阿克顿办事处的Lindsay Austin说,KrF激光器在248.4nm波长上发射功率2W.输出功率和频率是稳定

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