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符合亚微型平版印刷术要求的紫外准分子激光器
作者: 邹福清  来源:激光技术 年份:1988 文献类型 :期刊 关键词: 办事处  马萨诸塞州  公司  输出功率  加利福尼亚州  专题讨论会  紫外  平版印刷术  微型  准分子激光器 
描述:鉴于1988年3月在加利福尼亚州圣克拉拉举办的SPIE微型平版印刷术专题讨论会,Lambda Physik公司将推出一种OEM平版印刷术激光器.据马萨诸塞州阿克顿办事处的Lindsay Austin说,KrF激光器在248.4nm波长上发射功率2W.输出功率和频率是稳定