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制作集成电路的压印平版印刷术: 作者： 牛玉兰 来源：广东印刷 年份：1997 文献类型：期刊 关键词： 甲基丙烯酸甲醋 清晰度 特征尺寸聚合物半导体集成电路抗蚀剂平版印刷术电子束平版印刷术高生产率压印; 描述：为适应半导体集成电路和电子仪器、光电子仪器和磁性纳米级仪器的商品化,开发低成本、高生产率的具有低于50nm线宽清晰度的平版印刷术是十分必要的。目前正在开发的扫描电子束平版印刷术,已用实例证明能达到

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