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纳米器件制备的新方法-微接触印刷术: 作者： 潘力佳何平笙 来源：化学通报 年份：2000 文献类型：期刊 关键词： 自组装膜 聚二甲基硅氧烷 微接触印刷术微模塑; 描述：微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法 ,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米 -微米量级的精细结构 ,印制导电高分子微电路 ,以及制作三维结构微制品。该方法精确重复 ,工艺简单 ,对实验室条件要求也不高 ,在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。

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