21世纪海上丝绸之路（海南）专题库
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微接触印刷术——制备纳米器件的新技术
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作者：
崔婧怡 马莒生 王广龙 来源：电子元件与材料 年份：2005 文献类型 ：期刊 关键词： 弹性印章 电子技术 自组装膜 聚二甲基硅氧烷 微接触印刷术
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描述：介绍了纳米结构制作的一种新方法——微接触印刷术的工艺流程和关键技术,并简要分析了影响微印刷技术的几个因素。它克服了传统光刻技术的缺陷,能在金、银、硅片等多种基材上制作平面和曲面上的纳米–微米量级的精细结构。精确重复,工艺简单,对实验室条件要求不高,加工成本低,生产效率高。
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微接触印刷术——制备纳米器件的新技术
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作者：
崔婧怡 马莒生 王广龙 来源：电子元件与材料 年份：2005 文献类型 ：期刊 关键词： 弹性印章 电子技术 自组装膜 聚二甲基硅氧烷 微接触印刷术
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描述：介绍了纳米结构制作的一种新方法——微接触印刷术的工艺流程和关键技术,并简要分析了影响微印刷技术的几个因素。它克服了传统光刻技术的缺陷,能在金、银、硅片等多种基材上制作平面和曲面上的纳米–微米量级的精细结构。精确重复,工艺简单,对实验室条件要求不高,加工成本低,生产效率高。
